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高純氬氣無色無味無毒氣體。化學性質很不活潑，未形成任何化合物。今天來帶大家簡單了解一下高純氬氣的特點及用途。
高純氬氣在半導體工業中用作生產高純硅和鍺晶體的保護氣體；可用作系統清洗、屏蔽和增壓用的惰性氣體；在化學氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應用。高純氬氣也可作為色譜載氣。
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如何提高氧氣的純度達到高純級別，有哪些關鍵的技術環節？
要提高氧氣純度達到高純級別，關鍵技術環節眾多。
一是低溫精餾技術。利用空氣中各成分沸點的差異，在低溫環境下進行精餾。將空氣液化后，通過準確控制溫度和壓力，使氧氣等成分按沸點先后分離出來，從而獲得高純度氧氣。
二是吸附技術。通過特殊的吸附劑，如分子篩，對空氣中的雜質氣體進行選擇性吸附。吸附劑的微孔結構可以吸附氮氣、二氧化碳等雜質，讓氧氣通過，經過多次吸附循環可顯著提高氧氣純度。
此外，膜分離技術也很重要。利用具有選擇性透過功能的膜，讓氧氣優先透過，阻擋其他氣體，在優化膜材料和操作條件下，有助于提升氧氣純度。
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在使用高純氬氣時，如何防止其與其他氣體混合，以確保其純度？
在使用高純氬氣時，確保其純度需要注意以下幾點。
一是氣體輸送系統方面，要使用專門的、密封性良好的管道，如不銹鋼管道，并且管道在安裝前要進行嚴格的清潔和吹掃，去除可能殘留的雜質和其他氣體。管道接口處采用高質量的密封材料和連接方式，如焊接或高質量的密封墊片連接，防止氣體泄漏和外界氣體進入。
二是在使用設備端，要保證設備的氣體入口有良好的單向閥和過濾裝置。單向閥可以阻止其他氣體倒流進入氬氣系統，過濾裝置能夠進一步過濾可能混入的雜質顆粒和其他氣體分子。同時，在使用前對整個系統進行抽真空處理，也有助于保持氬氣的純度。
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第6年
